วิธีการหลักในการตรวจจับการรั่วไหลในระบบสูญญากาศรวมถึงสิ่งต่อไปนี้:
ความดันวิธีการตรวจจับการรั่วไหล: วิธีนี้คือการเติมความดันของก๊าซ (เช่นอากาศหรือน้ำ) เข้าสู่ระบบสูญญากาศจากนั้นตรวจสอบว่าก๊าซรั่วออกมาจากจุดรั่วหรือไม่ การดำเนินการเฉพาะรวมถึงการตรวจจับการรั่วไหลของน้ำเติมน้ำและการทดสอบความดัน การตรวจจับการรั่วไหลของน้ำเติมน้ำจะต้องดำเนินการเมื่อระบบปิดตัวลงและเย็น ข้อเสียคือมันสามารถตรวจจับการรั่วไหลที่มีอยู่ภายใต้แรงดันการขยายตัวเท่านั้น วิธีการทดสอบความดันคือการเติมก๊าซแรงดันบวกและใช้น้ำสบู่เพื่อตรวจสอบจุดรั่วไหล ข้อเสียคือมันใช้เวลานานและใช้แรงงานมากและได้รับผลกระทบอย่างมากจากสิ่งแวดล้อม
วาคัมวิธีการตรวจจับการรั่วไหล: วิธีนี้คือการอพยพระบบที่จะทดสอบในสถานะสูญญากาศจากนั้นตรวจจับจุดรั่วไหลโดยใช้สารที่ทำให้เกิดการรั่วไหลออกมาจากภายนอก ข้อได้เปรียบคือการตรวจจับสามารถทำได้ในขณะที่ระบบกำลังทำงานอยู่และข้อเสียคือความไวได้รับผลกระทบจากปัจจัยด้านสิ่งแวดล้อม
helium มวลสเปกโตรเมตรีวิธีการตรวจจับรั่วไหล: ใช้ฮีเลียมเป็นก๊าซติดตามเพื่อตรวจจับฮีเลียมที่รั่วไหลออกมาผ่านเครื่องสเปกโตรมิเตอร์มวล วิธีนี้มีความไวสูงและสามารถตรวจจับอัตราการรั่วไหลน้อยมาก แต่อุปกรณ์มีราคาแพงและการดำเนินการมีความซับซ้อน
halogen วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของฮาโลเจน: ใช้สารประกอบฮาโลเจนเป็นก๊าซติดตามเพื่อตรวจสอบการรั่วไหลผ่านหลักการของการตรวจจับไอออไนเซชัน ข้อได้เปรียบคือต้นทุนต่ำ แต่ความไวนั้นด้อยกว่าการตรวจจับการรั่วไหลของสเปคตรัมมวลฮีเลียมเล็กน้อย
วิธีการตรวจจับการรั่วไหลของ ultrasonic: ระบุการรั่วไหลโดยการตรวจจับคลื่นอัลตราโซนิกที่เกิดจากการรั่วไหล แต่ถูกรบกวนด้วยเสียงอื่นได้ง่าย
การเปลี่ยนแปลงและความสำคัญของระบบสูญญากาศ : ระบบสูญญากาศหมายถึงระบบที่บรรลุสถานะสูญญากาศที่บริสุทธิ์และมั่นคงในพื้นที่ปิด การทำงานที่มีประสิทธิภาพของระบบสูญญากาศขึ้นอยู่กับการปิดผนึกและการรั่วไหลใด ๆ จะส่งผลกระทบต่อประสิทธิภาพของระบบและคุณภาพของผลิตภัณฑ์ ดังนั้นการตรวจจับการรั่วไหลของสูญญากาศจึงเป็นสิ่งจำเป็นในการรักษาประสิทธิภาพของระบบปรับปรุงคุณภาพของผลิตภัณฑ์และสร้างความมั่นใจในความปลอดภัย
